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廈門太星機(jī)電供應(yīng)批發(fā)-iGX100N半導(dǎo)體真空泵維修
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廈門太星機(jī)電有限公司

經(jīng)營模式:商業(yè)服務(wù)

地址:廈門市集美區(qū)東安前占里19號之二

主營:真空泵,螺桿真空泵,水環(huán)真空泵,真空泵機(jī)組

業(yè)務(wù)熱線:0592-6800154

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產(chǎn)品詳情 聯(lián)系方式
產(chǎn)品品牌:廈門太星機(jī)電
供貨總量:不限
價格說明:議定
包裝說明:不限
物流說明:貨運及物流
交貨說明:按訂單
有效期至:長期有效

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廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗和銷售及維修工程師團(tuán)隊組成,公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴(kuò)散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

散泵是目前獲得高真空的、主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵,它需要機(jī)械泵作為前級泵。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。

1、油擴(kuò)散泵的返流。

2、氣體分子的反擴(kuò)散。

3、擴(kuò)散泵油的裂化分解,一般擴(kuò)散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右),受熱穩(wěn)定性好,不易被氧化,分子量大的高沸點的液體,如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈,污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán),影響其真空度。



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擴(kuò)散泵在長期工作后性能會逐漸變壞,應(yīng)定期檢查。如:泵油是否減少或氧化,按相應(yīng)要求加油或更換處理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用進(jìn)行擦洗,并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后,按順序進(jìn)行裝配,保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心,各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。

待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。

在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維護(hù)泵,關(guān)好大門,數(shù)分鐘后,觀察真空度,同時檢查連接處是否漏裝密封膠圈,或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會燒壞,無法進(jìn)入工作狀態(tài)。




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現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵在泵入口處,泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。

只有在使用時遵守一定的操作規(guī)程,才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實踐,對排氣系統(tǒng),也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例(其他真空設(shè)備可仿照施行),其操作規(guī)程如下:①檢查真空系統(tǒng)各部分,熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu),了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。②關(guān)閉放氣閥門,啟動機(jī)械泵,對系統(tǒng)進(jìn)行抽氣,并隨時用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進(jìn)行檢漏。如系全金屬系統(tǒng),則可關(guān)閉閥門,用真空計讀數(shù)記下P-t曲線(作靜態(tài)升壓試驗)。如壓強隨時間呈直線上升,可斷定系統(tǒng)有漏氣源,應(yīng)進(jìn)行檢漏。③當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到油擴(kuò)散泵的前置壓強(5×10-2托)后,啟動擴(kuò)散泵,使加熱電流逐漸升到額定(佳)值。在啟動擴(kuò)散泵前,必須先開冷卻水。④擴(kuò)散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規(guī)管除氣,后測量真空度。



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